超日凈化針對(duì)Epi(磊晶)、Poly(多晶)、PECVD、MOCVD或CVD 化學(xué)氣相沉積工藝尾氣的處理，同時(shí)擴(kuò)大在半導(dǎo)體及醫(yī)藥領(lǐng)域的尾氣處理應(yīng)用，研發(fā)出 了新一代CRBR型凈化器，該類尾氣凈化處理裝置主要能夠處理的介質(zhì)包括：硅烷SiH₄、磷烷PH₃、鍺烷GeH₄、二氧化硅SiO₂、硼烷B2H₆、三氟化硼B(yǎng)F₃、一氧化二氮(笑氣)N₂O、八氟環(huán)丁烷C₄F₈、四氟化碳CF₄、四氯化鍺GeCl₄、四氯化硅SiCl₄、三氯氫硅SiHCl₃、氯氣Cl₂、三氯化硼B(yǎng)Cl₃、四氯化碳CCl₄、氯化碳CCl₂、氟氣F₂、氫氣H_2、其它酸堿性尾氣、粉塵等。

廢氣設(shè)計(jì)處理量：每個(gè)公司生產(chǎn)的工藝有細(xì)微的差別，提供的尾氣參數(shù)也不盡相同，但根據(jù)我公司多年治理經(jīng)驗(yàn)，會(huì)經(jīng)嚴(yán)格計(jì)算及放一定安全余量，保證安全最低尾氣處理量，滿足正常生產(chǎn)要求及排放的標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)生廢水量：如果有含磷廢水建議定期外運(yùn)，從我們的經(jīng)驗(yàn)來(lái)看，廢水量一般不會(huì)超過(guò)2-3m³/月；如果沒(méi)有含磷廢水，可以直接進(jìn)行酸洗中和洗滌吸收處理。 

硅酸鈣等堵塞問(wèn)題：我公司提供的產(chǎn)品對(duì)于二氧化硅、硅酸鈣及其它一些粉塵的堵塞均能做到完好解決。首先在進(jìn)口氣處有可以不停機(jī)清理裝置；其二在預(yù)處理凈化室先期可凈化大部分，從而保證系統(tǒng)不堵塞的問(wèn)題；其三采用霧化噴淋段與凈化功能段獨(dú)立進(jìn)水、噴淋、排液，無(wú)堵塞問(wèn)題出現(xiàn)。

按上述尾氣特性，我公司制定簡(jiǎn)要工藝流程如下： 

廢氣進(jìn)口→燃燒段及預(yù)洗滌功能段→多級(jí)霧化洗滌功能段→填料凈化功能段→凈化后的尾氣出口 

尾氣在引風(fēng)機(jī)作用下，通過(guò)風(fēng)管路進(jìn)入到尾氣凈化裝置中的燃燒段及預(yù)洗滌腔體中，自燃的尾氣經(jīng)預(yù)旋轉(zhuǎn)水洗滌方向后沿管壁流動(dòng)，進(jìn)入多級(jí)霧化噴淋洗滌功能段， 配用大流量循環(huán)泵逆流式洗滌輸送，再配合螺旋式高流量、不阻塞噴嘴，使塔內(nèi)噴淋密度達(dá)到11~12.9m³/（m²·h），遠(yuǎn)大于正常的10m³/（m²·h），使氣液二相混合呈現(xiàn)更加效率狀態(tài)。

經(jīng)過(guò)多級(jí)霧化噴淋裝置進(jìn)行處理后的尾氣，在風(fēng)機(jī)作用下壓入填料層噴淋凈化段功能室，將尾氣平均分布在多面空心球周圍，每只呈現(xiàn)點(diǎn)接觸，排列“Z或W”不規(guī)則路線行走，無(wú)偏流現(xiàn)象，再次使尾氣得到氣液二相充分接觸，最后尾氣達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)排放要求，經(jīng)風(fēng)機(jī)抽出，并通過(guò)排風(fēng)管排入大氣。

某種尾氣處理概況說(shuō)明：若同時(shí)存在硅烷SiH₄、鍺烷GeH₄、磷烷PH₃、氧氣O_2、氫氣H₂、氬氣Ar、氮?dú)釴₂、三氟化硼B(yǎng)F₃ 以及微量粉塵。由于硅烷SiH₄、鍺烷GeH₄ 與空氣接觸會(huì)引起燃燒并放出很濃的白色的無(wú)定型煙霧，它對(duì)健康的危害主要是對(duì)呼吸道的損傷及自燃后火焰引起的熱灼傷，嚴(yán)重甚至?xí)旅欢鴼錃庵瘘c(diǎn)為500℃，在混合空氣4-75%中容易點(diǎn)燃并爆炸，從安全與環(huán)保角度，無(wú)論如何都必須被有效的處理，并要完全達(dá)到國(guó)家和地方的排放相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)后才能排入大氣中。